TPS烧结炉操作说明.docx

TPS烧结炉操作说明.docx

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TPS烧结炉操作说明

1．开启前准备

（1）检查冷却水塔是否开启

冷却水开启步骤：

电源开关ON→冷却水塔ON→制冷ON冷夜泵ON

（2）检查压缩空气

压缩空气控制在60Psi。

2．开启电源

打开烧结炉总电源，电源开启后，MainPower灯亮。

按下“PowerON”烧结炉网带开始运动。

按下电脑的电源开关，电脑开启后，在桌面上点击“furnace”，打开操作软件。

3．登陆操作系统

打开操作软件后，点击进入登陆界面，选中，跳出对话框，在对话框中输入密码，用户登陆成功。

退出系统时，点击，退出用户。

4．选择工艺参数

点击进入界面，选中所需的工艺参数，执行。

※工艺参数的调取&保存方法

调取：

从硬盘存档中调用：

选中，会打开文档，然后选择需要的工艺参数设定。

从当前工艺调取：

选中，界面显示当前工艺参数的设定。

保存:

将界面下的参数设定保存：

选中

※工艺参数的修改和执行

两种方式：

①直接在当前工艺下修改

在界面上，选中需要修改的工艺参数，会弹出设定对话框，键入所改的值，点击OK。

（若不做修改，点击Cancel）

②在界面修改

Recipe修改方法：

选中需要修改的温区，在相应的温区修改温度和上下功率值。

（上功率为上限值，下功率是实际值。

）▲注意：

在修改完毕后，要选择，修改的参数才会执行。

或者在修改时，点击，可直接修改到当前工艺。

5．烧结炉升温

工艺选定后，选中warmup，烧结炉开始升温。

★为了延长烧结灯管的寿命，避免在刚开启加热时过大电流损坏加热灯管，zone8&zone9采用逐步加热的方式。

注意：

在刚开始加热时，zone8&zone9两区的上下功率不可过高。

两区上下功率手动设置升温。

当温度升到位后，将下功率逐渐降到设定值。

当温度加热到位后，状态栏变成蓝色，此时表明烧结炉达到稳定状态，可以进行烧结工艺。

（注意：

状态栏表示工艺状态，当出现条形时，表示未达到稳定状态，不可进行烧结。

若要进行工艺修改，不可往炉中投片，工艺修改待烧结条件稳定一段时间后，方可进行烧结工艺。

）

6．关闭烧结炉

a.选中，烧结炉开始降温

b.温度降到100℃左右，可关闭设备，压缩空气继续通半个小时左右。

温度降到100℃后，可以退出操作软件。

进入界面，点击，退出用户操作，再选中右上角，退出软件。

然后关机。

C．按下炉外侧的Poweroff，再将烧结炉总电源关闭。

注意：

在高温的情况下，不可直接关闭烧结炉电源。

若按下了急停，应清除按下的原因后，即可按下“PowerOn”开启电源，避免高温区内高温对网带的损坏。

报警处理：

A．灯管的损坏；烧结炉的灯管无需做保养，若损坏直接更换。

灯管损坏，会出现高亮，并且有报警声出现。

操作人员先关闭消音（确认报警）。

界面会显示哪个区的灯管损坏了，在Description描述窗口显示LampFailZone□。

然后打开，检查该区灯管的具体位置，注意显示的是一组灯管（两根），用万用表测量灯管的两端，查出损坏的灯管，进行更换。

灯管的更换注意事项：

灯管更换时，操作人员要带上橡胶手套，不可直接用手接触石英灯管（油脂对石英灯管的损坏十分严重），若接触用无水酒精擦拭灯管后安装。

B．冷却水报警：

检查冷却水是否开启。

C．高温报警、低温报警