电子厂静电防护管理系统程序.docx
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电子厂静电防护管理系统程序
1.0目的
1.1建立一个良好的ESD控制工作环境，减少或消除ESD对电性产品的破坏。
1.2提高产品在客户端的信赖性，维护公司在客户端的信誉，保证产品的品质。
1.3维护公司员工的身体健康。
2.0范围
适用于XXX事业部，保护ESD敏感性电子元件及产品之全过程，具体包括材料或产品之来料检查、制造、测试、组装、包装、检查、运输及存储等。
3.0权责
3.1工程部：
负责公司ESD控制之技术标准的建立，并针对重大ESD事件进行追踪，同时提出改善措施,负责员工的ESD培训。
3.2质量部：
负责对ESD控制之执行品质进行督导及稽核。
3.3计划部：
负责在仓储期间及发料过程对ESD敏感性元器件进行重点防护以及防静电辅材（7.4.2.5中规定）的来料检查与管控。
3.4生产部：
负责ESD控制标准的执行及日常点检与测量。
3.5企管部：
负责安排ESD人员培训和认证考核，及相关资料归档。
4.0参考文件
4.1ANSI/ESDS20.20-2007
4.2IEC61340
4.3ANSI/EIA-625
5.0定义及相关术语
5.1ESD（ElectrostaticDischarge）：
静电放电
由于电子不均匀分布使电荷在不同电位物体间相互转移的现象。
5.2EOS（ElectricalOverStress）:
电压过应力
即当外加电压超过零件所能承受的电压范围时，造成零件的崩溃。
5.3导电材料：
材料表面电阻率低于1.0x105Ω/SQ或体电阻系数低于1.0x105Ω/CM的材料。
5.4绝缘材料：
材质表面阻值至少是1.0x1012Ω/SQ或电阻系数至少是1.0x1012Ω/CM的材料。
5.5静电耗散材料：
一个材料其表面电阻率大于1.0x106Ω/SQ，小于1.0x109Ω/SQ.（如防静电手套、防静电工作台等）。
5.6抗静电材料：
指表面电阻率大于1.0x109Ω/SQ,小于1.0x1011Ω/SQ的材质。
5.7CPG（CommonGroundPoint）共同接地点
5.8EPA（ESDProtectedArea）静电防护区域
5.9ESD接地：
静电充电物（人）经由汇流排、金属支板或系统传导至地面。
5.10设备接地：
从电子设备到硬接地电极之低阻抗路径。
6.0流程图
《静电防护管理程序流程图》
7.0内容
7.1长城电脑电源事业部ESD组织结构
7.1.1主要职责
7.1.1.1解决本公司重要的ESD事件，对ESD执行进行技术性指导。
7.1.1.2每月对本公司ESD控制环境进行考核评估。
7.1.1.3按国际标准和客户要求，保证ESD防护设施的导入。
7.1.1.4定期对本公司员工进行ESD教育训练和考核，加强员工的ESD意识。
7.1.2组织结构
7.1.2.1ESD管控区域分布
7.1.2.2ESDteam组织图
7.2ESD教育培训
7.2.1所有从事处理或接触静电敏感器件的工作人员，都必须接收ESD培训，并经检定考试合格者方可从事该项工作。
7.2.2认证共分为A,B,C三级
A级-公司培训讲师，稽核员及各工作区主管级以上干部皆属之。
B级-工作区之工程师，技术员，领班，线组长，QC人员需具备之。
C级-一般作业人员及新进人员。
7.2.3培训计划的安排及每次个人培训档案的收集，汇总将由企管部做统一统筹。
7.2.4重新培训认证：
凡经认定为认证资格已失效者（违反ESD规定二次以上者）及所有人员每年都必须接收一次重新培训及认证（公司内部讲师每年不需要重新受训一次）
7.3ESD、设备接地之要求
7.3.1静电ESD接地采用2mm*4cm的扁铁埋入地表面以下0.8m深度，接地极与接地线必须用高温熔接保证电性连接良好，且用50mm2的电线接出引至厂房各控制区域，再用6mm2的电线连接至各线体；设备接地线由三相五线制的保护地线引出，连接至各区域线体作为设备接地使用，起到双重接地保护作用。
7.3.2为确保人员的安全性，车间设备地线必须为独立，不可与ESD地线共用。
工程部ME组技术员须每半年对厂区设备地进行全规模检测，用一根6m2电缆线一端牢固接在厂房配电箱主设备地，一端接在万用表一端，万用表另一端接在各线体设备地末端进行检测，此时用万用表“Ω”档位进行测量，测量阻值应<4Ω；ESD接地需ME技术员每半年检查一次，用一根6m2电缆线一端牢固接在静电接地主线，一端接在万用表一端，万用表的另一端接在各线体ESD接地末端检测点进行检测，此时用万用表“Ω”档位进行测量，测量阻值应<10Ω。
检测结果记录于《接地线点检记录表》中。
7.3.3生产线的ESD、设备接地末端接地电阻均需小于10Ω，此设备接地与ESD接地状况的检测由使用部门各负责人每月自行测量一次，并分别记录于《ESD接地检测记录》和《设备接地检测记录》中。
7.3.4为避免ESD/EOS的发生，所有设备（AI/RI/SMD，加工成型机、测试设备、锡炉、烙铁电动起子等）请一律使用美式或欧式三芯电源插头，确保设备工具良好接地，同时，为了确保设备的接地可靠性与避免EOS的发生，所有的带电仪器设备与电动治工具都需连接设备接地线。
7.3.5所有测试治具（ICT、INT与保护站）需采用抗静电材料如电木制成，外加工治具一律用防静电或抗静电材料制成，且机台需做好接地处理。
7.3.6ESD接地主线尾端需贴ESD共同接地测试点标签见标识图C。
7.4ESD防护区域及ESD防护工作站要求
7.4.1ESD防护区域的要求：
7.4.1.1凡是有对半导体材料进行存放、加工、组装、包装与检验的区域均为ESD防护区域，包括：
IQC、IC仓、AI、HI、T/H段、组装段与维修站等。
7.4.1.2ESD防护区域内如有铺设导电地板，其接地阻抗需保持在2.5x104Ω/SQ至1.0x106/SQ之间；且需每月对其进行清洁及检测，并落实填写记录于《导电地板检测记录表》上。
7.4.1.3所有人员（包括间接人员、来宾）进入铺设导电地板之ESD防护区时，必须穿静电鞋，且经检测合格后，方可进入。
7.4.1.4所有人员（包括间接人员、来宾）进入ESD防护区时应依静电环点检说明书自觉点检，并落实填写点检记录表。
7.4.1.5为避免检测仪器不良引起人员误测，故各部门负责人应每日对仪器进行检查，使其处于设备良好状态。
（如接法是否良好，电量是否足够）
7.4.1.6所有人员进入生产线之ESD管制区域时头发过肩的人员必须将其放入静电帽内，头发过腰的人员可将头发盘起或放入静电衣内，否则严禁进入生产区。
7.4.1.7所有需穿静电衣的人员（包括间接人员、厂商及参观者）在穿静电衣时其袖子严禁挽起，静电衣之扣子或拉链必须系好，且所穿的便装之衣领/衣帽严禁外露。
7.4.1.8静电衣清洗时需使用小于30℃的中性水配合中性洗洁剂轻揉后晾干即可；其标准阻抗值为106Ω～109Ω之间；需每月抽检一次并记录于《静电衣检测记录》上。
7.4.2ESD防护工作站要求：
7.4.2.1ESD防护工作站指ESD防护区域内所有具有防静电功效之工作站。
7.4.2.2ESD安全工作站之静电环、静电桌垫接地方式必须并联，绝不能串联于ESD主线上。
且必须接到ESD接地线上，不可夹在设备接地线或各种被误认为已接地设备上。
7.4.2.3静电桌垫需经串联1MΩ电阻的接地扣接至ESD地，而非设备地；且接地采用之鳄鱼夹与香蕉插头不能混合使用。
7.4.2.4防静电桌垫需每月进行点检一次，贴点检标签如标识图D，并将检测结果记录于《防静电桌垫点检记录》中；标签应横向贴在工作台靠近静电接地扣处。
7.4.2.5公司所有新购之防静电辅材（防/抗静电袋、静电手腕带、静电手套、静电衣/鞋/帽、导电桌垫、静电车、静电盒/箱/框、PCB挂篮、静电泡棉、静电毛刷、导电镊子、防静电溶剂瓶等）进厂或铺设时，必须经由仓库ESD人员对来料进行抽检（抽检比例：
样品数N<100时，抽检20%；100≤N<500时，抽检10%；N≥500时,抽检5%）,待检验合格后，方可导入使用，检测报告记录于《防静电材料来料检测记录表》中，且所有防静电材料在使用前由各使用部门负责全检。
7.4.2.6静电安全工作站30cm以内的所有物体、材料表面及人体所带静电量（即放电模式）应小于100V。
7.4.2.7对于生产线上具有静电发生源之工位（如：
撕贴胶纸、HI处物料之绝缘包装盒）等，应增设离子风扇有效中和静电。
7.4.2.8针对已组装好外壳的成品所进行的操作，原则上操作人员不需要佩戴静电环；但针对个别使用高静电物料的工位（如包装塑料袋等），需要用离子风机对吹，以消除静电。
离子风机每班巡检一次，结果记录于《离子风扇巡检记录表》中；领班应每周对离子风机平衡电压进行检测，平衡电压应小于100V，检测结果记录于《离子风机平衡电压测试记录表》中，同时，为保证离子风扇使用之可靠性应每两个月进行一次校准，校准结果记录于《离子风扇校准记录表》中。
7.4.2.9工作站使用之测试治具、电动工具需每班在上班前对其进行设备接地电阻及EOS对地电压检测，结果分别记录于《EOS检测记录表》及《机器设备/电动治工具接地检测记录表》中。
7.5工作现场ESD之要求
7.5.1静电环佩戴须知
7.5.1.1作业员在作业时必须依MOI要求佩戴静电环、静电手套或静电手指套，且静电环腕带之金属片必须与手腕皮肤紧密接触，不可松脱或套于衣袖上。
7.5.1.2为确保1MΩ电阻之有效性，严禁用力拉扯静电环的导线。
7.5.1.3所有人员（含间接人员、流动员）接触ESD敏感性零组件时均须佩戴静电环，且静电环须处于接地良好状态。
7.5.2所有人员每日上班前应主动检测静电环/鞋接地状况，每日点检两次，加班需另进行点检一次，点检完毕后如实记录点检结果于《静电环点检记录》和《静电鞋点检记录》上，且由各区域线长或区域ESD负责人签字确认；如点检失败，应及时找线长更换新的静电环，并重新点检合格方可上线作业。
7.5.3使用静电环自动测试仪的工位，采用自主点检和线长检查的方式，自主点检方法为：
不戴静电环，打开电源开关，此时测试仪上红灯亮，蜂鸣器叫；佩戴静电环后，只有绿灯亮。
以上测试结果符合，表示静电环自动测试仪处于良好的实时监控状态，人员可靠接地。
每日三次（上午、下午、晚上）需要点检，员工在自主点检的同时，线长进行确认，并填写《静电环点检记录》。
7.5.4未使用静电环自动测试仪的工位，由线长使用静电环测试仪器逐工位进行点检，点检方法为：
先将静电环测试仪器的接地线接地，让员工用手触摸静电环测试仪器的金属面盖，如绿色灯持续亮，表示人员可靠接地；其它灯亮表示接地不良。
线长对点检结果作记录并填写《静电环点检记录》。
7.5.5对于操作静电敏感性零组件之工位除以上点检外还应：
7.5.5.1所有ESD敏感零组件，应使用防静电盒/框或防静电容器盛装。
7.5.5.2取放ESD敏感零件时，请使用防静电手套/镊子进行操作；对PCB清洁时必须使用防静电刷方可；装PCB清洗溶剂所使用的容器必须为防静电容器；以上使用之治工具需每月对其ESD功能进行检测并记录于《ESD治工具点检记录》。
7.5.5.3防静电盒/防静电桌垫等各种ESD材料上必须有ESD点检标签存在。
7.5.5.4工作台上严禁张贴胶带或防止普通塑料盒、塑料袋等绝缘材料；生产线使用的绝缘废弃物应及时清扫处理。
7.6ESD敏感性材料之来料检验、包装、储存、运输搬运过程中ESD控制要求
7.6.1所有ESD敏感材料或产品在静电防护区域外应完好封装于静电屏蔽IC管或静电屏蔽袋内，不可打开包装；不能使用易产生静电和放电的物质进行包装和储存。
7.6.2ESD敏感器件来料检验之ESD控制要求：
7.6.2.1检验静电敏感器件的人员必须佩戴静电环，并由组长用静电环测试仪器测试，每日三次（上午、下午、晚上加班），并填写《静电环点检记录》。
7.6.2.2检验治工具和设备（电烙铁、电批等）必须接地，并用万用表测试其接地电阻及EOS电压，每日三次（上午、下午、晚上加班），接地电阻要小于10Ω，EOS电压要小于0.3V,并填写《EOS检测记录表》与《机器设备/电动治工具接地检测记录表》。
7.6.2.3检验静电敏感器件如有接触IC、晶体管及PCB板时要戴防静电手套，防止手汗中的有机物氧化元器件、PCB板等。
7.6.3ESD敏感性材料之包装过程中ESD控制要求：
7.6.3.1ESD敏感元件的包装材料应为抗静电或静电消散材质，包装好的ESD敏感材料其静电盒（袋）应处于密封状态，同时包装上应有静电敏感性标识。
7.6.3.2拆装过后的散装ESD敏感材料需放于密闭的静电料袋（IC管）内，不能放于普通塑料容器或保丽龙容器中。
7.6.3.3ESD敏感材料在进行包装时，应排列整齐，不能堆积摆放，不允许有产生静电的材料（泡沫、尼龙、带状物等）在包装袋中。
7.6.4本厂常见的防静电包装容器及其要求：
7.6.4.1抗静电（抗强化液处理）IC管、IC料盘、料盒、零件袋及静电箱（通常为黑色、银灰色）
7.6.4.2静电屏蔽袋的表面电阻率在106～1011Ω/Square之间。
7.6.4.3静电消散搬运箱表面电阻率需在106～109Ω/Square之间。
7.6.4.4导电料盒/隔板表面阻抗需在106～109Ω/Square之间则有效。
7.6.4.5导电容器需有静电防护标签做有效管控，且需每三个月进行全检一次，并填写《导电容器检测记录》。
7.6.5ESD敏感性材料储存过程中的ESD控制要求：
7.6.5.1存放静电敏感性材料的仓库，需用温湿度计进行监控，检查温度应在5-28度，湿度应在40%-75%，每两小时记录一次（8:
20-22:
20）,并填写《库房温湿度记录表》。
7.6.5.2公司ESD产品进行存放，应使用石墨型褐色导电盒/箱/隔板；其有厂商提供之品质证明，具有永久性防静电之功能。
7.6.5.3存放ESD敏感材料所使用之固定或移动的物料架须具备良好接地（如：
使用接地链或导电轮）
7.6.5.4对与晶体管、IC等具有ESD敏感之电子零件均需作好ESD防护动作（如摆放时的物料架铺设防静电桌垫）。
7.6.6ESD敏感性材料运输搬运过程中ESD控制要求：
7.6.6.1静电敏感性材料的运输，必须使用用防静电包装袋或防静电料盒盛装，防静电料盒必须每季度点检一次,使用表面阻抗测试仪，表面阻抗为106～109Ω，点检结果记录在标签上并粘贴在对应的料盒上，并填写《导电容器检测记录》。
7.6.6.2所有ESD敏感材料或产品必须用防静电（导电）车来运送。
7.6.6.3导电车接地阻抗正常在106～109/SQ之间，需每月检测一次贴上点检标签并记录于<到电车检测记录表》或须有厂商提供材质的有效性证明，以作时间管制。
7.6.6.4推车上之产品尽可能不要重叠放置，如需重叠放置时，层与层之间须使用静电隔板隔开。
7.6.6.5推车进入非ESD区域进行产品零件的运输时，需使用静电防护罩（袋）做屏蔽。
7.6.7在使用普通纸箱包装、储存、运输搬运ESD敏感性材料时，箱内需设置防静电防护（如铺设抗静电袋、静电泡棉及静电隔板）。
7.6.8所有人员在发料、点料、配料、包装及取放ESD敏感性材料时均须佩戴静电环并确保良好接地；在使用修理料时ESD敏感性材料应放于抗静电料盒内。
7.7标识
7.7.1静电警示标签说明：
7.7.1.1图A为静电敏感标识（ESDSusceptibilitySymbol）,主要用于ESD敏感元件之外包装及ESD敏感区。
7.7.1.2图B为静电防护标识（ESDProtectiveSymbol），用于静电安全区域或ESD安全工作站。
7.7.1.3图C为ESD共同接地测试点（ESDCommonGroundPointSymbol），用于ESD接地线末端。
7.7.1.4图D为ESD点检标签，使用作为各种ESD材料检测标识；标签日期的填写格式需均为：
XX年XX月XX日，标签统一为浅蓝色底纸制作，并贴于ESD材料之显眼处。
7.7.1.5图E为静电敏感区标识（ESDSusceptibleAreaSymbol）,主要用于全厂各ESD敏感区域。
7.7.2ESD注意标识应明确标识于ESD防护区及工作站告知所有进入人员；一般视力下标识应在1米内可读见。
7.7.3在ESD敏感性零组件作业工位上，其防静电零件盒和防静电盒/板、晶体元件之料盒及MOI上都应由静电敏感性标识。
7.8各种元器件的静电敏感度（以人体模型HBM为例）
7.9稽核
7.9.1每月内部稽核
7.9.1.1稽核小组分别由AI、生产部、工程维修、售后、IC仓库、质量部&IQC与DQA各派一员组成，且ESD稽核人员须经培训考核并有ESD稽核经验。
7.9.1.2稽核时依据稽核计划进行，稽核项目依《ESD内部稽核查检表》为参考依据。
7.9.1.3对稽核不符合项目由ESDTeam发出稽核不符合项目报告，请各责任部门及时提出整改措施，最后由部门ESD负责人报告，存档保存。
7.9.2对ESD稽核过程中发现因人为因素违反ESD规定者，将按员工奖惩管理办法对其责任人进行处罚。
7.10ESD规划
项目
种类
检测周期
检测责任人
标准范围
1
静电环
每天
所有人员
万用表测静电环内阻：
1.0M±10%Ω
人体综合测试仪：
750K～10MΩ
2
静电鞋
每天
所有人员
750KΩ～35MΩ
3
离子风机巡检
每天
领班/全能员
是否按文件要求正常使用
4
离子风扇平衡电压
每周
领班/全能员
平衡电压：
<±100V
5
离子风机校准
每两月
工程部ME
衰减时间：
≦3s
平衡电压：
<±50V
6
EOS测量
每天
领班/全能员
EOS电压：
<0.3V
7
机器设备/电动治工具接地
每天
领班/全能员
设备接地电阻：
<10Ω
8
ESD治工具
每月
领班/全能员
静电压：
<100V
表面阻抗：
104～1011Ω/SQ
9
静电衣帽
每月
领班/全能员
1*106～1*109Ω/SQ
10
防静电桌垫
每月
领班/全能员
1*106～1*109Ω/SQ
11
导电地板
每月
区域ESD负责人
2.5*104～1.0*106Ω/SQ
12
导电容器
三个月
领班/全能员
1*106～1*109Ω/SQ
13
导电料架车
每月
领班/全能员
1*106～1*109Ω/SQ
14
ESD接地
每月
领班/全能员
小于10Ω
15
设备接地
每月
领班/全能员
小于10Ω
16
接地系统
六个月
工程部ME
静电接地<10Ω
设备接地<4Ω
17
库房温湿度
每天
库管员
温度：
5℃-28℃
相对湿度：
40%-75%
7.11EPA区域各项ESD防护要求
区域装备
静电环
静电衣/帽
静电鞋
静电车
离子风扇
机插房
V
V
V
V
0
生产线
V
0
0
V
V
工程维修
V
0
0
0
V
售后服务
V
0
0
0
V
IC仓库
0
0
0
0
0
质量部&IQC
O
0
0
O
0
DQA
V
0
O
0
0
注：
“V”表示必须实施并执行，“O”表示选择性实施
8.0相关文件和记录
《静电防护管理程序流程图》
《接地线点检记录表》
《ESD接地检测记录》
《设备接地检测记录》
《导电地板检测记录表》
《静电衣检测记录》
《防静电桌垫点检记录》
《防静电材料来料检测记录表》
《离子风扇巡检记录表》
《离子风机平衡电压测试记录表》
《离子风扇校准记录表》
《EOS检测记录》
《机器设备/电动治工具接地检测记录表》
《静电环点检记录》
《静电鞋点检记录》
《ESD治工具点检记录》
《导电容器检测记录》
《库房温湿度记录表》
《导电车检测记录表》
《ESD内部稽核查检表》
静电防护管理作业流程图
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