7036PC02305WK10094维修手册.docx

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7036PC02305WK10094维修手册

7036-PC-023-05维修保养手册

安全須知1

第一章、定期維護計畫4

第二章、一般維護說明7

2-1、7036-PC主要模組7

2-2、點膠機8

2-2-1、清潔調整X、Y向工作模組8

2-2-2、清潔調整Z向工作模組9

2-3、彈閘式入料機構11

2-3-1、清潔調整料片承載機構11

2-3-2、清潔調整料片檢放機構12

2-4、出料機構14

2-4-1、清潔載入區與輸出區14

2-4-2、清潔料匣升降機15

2-5、工作平台17

2-5-1、清潔調整X向工作模組17

2-6、料片載入載出機構18

2-6-1、　清潔調整出料推桿機構18

2-7、光學機構19

2-7-1、　膠點檢查組件19

第三章、耗材更換步驟20

3-1、點膠頭清洗步驟20

第四章、錯誤碼參照與簡易故障排除24

第五章、模組對照表26

附录一、机构模块爆炸图

附录二、机台电路图

7036-PC-023-05修订纪录

修订版本

修订说明

修改部分

撰写者

110419

初版

QuillSu

安全须知

用途

广化科技股份有限公司所制造之7036-PC-023-05，为一具有先进科技及高精准度的机器；使用于将晶粒与跳线黏固于导线架上。

对于任何使用在非机器原始设计之使用目的上的行为，广化科技将不予负责。

环境

机器摆放的环境必须通风良好以避免危险气体的累积。

任何排气系统必须排放至室外，也就是不能为封闭或重复循环的系统。

操作环境必须免于静电影响。

气压

本机所使用的气压量为大于5公斤/平方公分。

个人

安全警示

标志与图标

用户对于机器上所贴之标志与图标必须相当熟悉其内容与含意。

对于图标联想错误或者对于标志辨识错误将导致伤害。

下列为黏贴于机器上之标志与图标：

操作安全

当机器不使用时：

1.依照关机步骤关闭机器。

2.确定压缩空气与真空停止供给。

以下情况禁止开启机器：

1.任何一个该锁紧的螺丝遗失或松脱。

2.任何一个机构保护盖没有安装。

3.电力系统或气源系统线路未完整连接。

4.机器上有任何松脱的工具或料件，因为它们可能会妨碍机器零件的作动。

5.任何一个警告的标志遗失或破损。

停止机器（正常停止）：

1.按下机器操作面上红色停止按钮。

2.程序执行画面中的停止键。

停止机器（紧急停止）：

按下机台上紧急停止按钮。

运转部件

下列所述为本机器会运转的机构及其作动方式：

1.取放头：

此模块由马达驱动螺杆作动，其作动方向可能为上、下、前、后、左、右，务必避免手部及松垮的衣物卷入机构，以免遭受伤害。

2.点胶头：

此模块由马达驱动凸轮使机构上下作动，务必避免手部及松垮的衣物卷入机构，以免遭受伤害。

3.工作轨道：

此模块由马达驱动螺杆与凸轮使机构上、下、左、右作动。

由于模块上安装带料机构，因此作动时务必避免手部及松垮的衣物卷入机构或被机构撞击，以免遭受伤害。

4.堆栈式L/F入料机构：

此模块由气缸驱动L/F 取放头作动，其作动方式为上、下、前、后移动，作动时务必避免手部及松垮的衣物卷入机构或被机构撞击，以免遭受伤害。

5.晶圆平台：

此模块由马达驱动螺杆移动，另有扩片机构由气缸上下开合与马达带动皮带左右调整角度。

务必避免手部及松垮的衣物卷入机构或被机构撞击，以免遭受伤害。

6.跳线裁切取放模块：

此模块由马达驱动跳线取放头做圆弧作动，另由气缸驱动裁切模块上下作动。

务必避免手部及松垮的衣物卷入机构或被机构撞击，以免遭受伤害。

7.加热炉：

此模块由马达驱动螺杆进行上、下、前、后作动，此模块虽然作动速度较慢，但仍须避免手部及松垮的衣物卷入机构或被机构撞击，以免遭受伤害。

8.出料机构：

此模块由马达带动皮带驱动螺杆，做上下运转。

务必避免手部及松垮的衣物卷入机构或被机构撞击，以免遭受伤害。

9.程序软件：

当执行程序中全系统重设或初始化时，系统会驱动全机的运转部件作动。

务必避免手部及松垮的衣物卷入机构或被机构撞击，以免遭受伤害。

执行程序中设定选单可选取欲设定之模块进行参数调整，不同层级的使用者有不同的设定权限。

设定特定模块时，该模块会运转，务必避免手部及松垮的衣物卷入机构或被机构撞击，以免遭受伤害。

禁止在不了解效果的情形下改变模块作动的参数，以及禁止在不了解结果动作的情形下按下动作键。

加热源/高温

加热炉于加热时禁止触摸加热块；加热后之炉体，包含上盖、周围等同样会具有高温，应避免触碰。

电源

本机器之主电源为380VAC3phase，下列所述为一般应遵守之事项：

1.只有合格的人员才能在主电源开启时执行工作。

2.进行机台内部线路检修时务必关闭机器主电源。

预防静电放出

预防静电放出是避免机器或材料原件受到损坏的必要措施。

请遵守下列说明：

1.确保机器操作环境可避免静电放出。

2.拆封料件时避免接触电路。

3.配戴静电环，确实将机器接妥地线。

第1章、定期维护计划

项次

项目说明

频率

方法

日

周

月

季

年

酒精

真空

润滑

特殊工具

索引

A、取放头组件（取放头、光学模块）

清洁吸嘴与吸嘴连杆

确认真空来源及检测器数值

清洁镜头

拭镜纸

检查检取及放置位置

清洁润滑滚珠螺杆

清洁润滑导向滑块

检查取放头Z轴皮带张紧度

检查取放头放置力度

力度计

清洁传感器

检查各传感器感应位置

各部螺丝旋紧

B、顶针座组件

清洁顶针座之Cap平面

酒精

检查顶针损耗

显微镜

清洁润滑滚珠螺杆

清洁润滑导向滑块

清洁传感器

检查各传感器感应位置

各部螺丝旋紧

C、点胶机

清洁点胶头

通针、气枪

检查Z轴弹簧拉力

力度计

清洁润滑Z轴培林、交叉滚子

清洁传感器

各部螺丝旋紧

D、传送平台（含传送机构）

清洁平台表面

检查马达皮带张力

检查各传送平台定位针

清洁各部传感器

清洁润滑各滚珠螺杆

清洁润滑各导向滑块

检查各传感器感应位置

各部螺丝旋紧

E、晶圆平台（含扩片机构）

检查θ、Y轴马达皮带张力

清洁润滑扩片机上下螺杆

清洁各部传感器

清洁润滑各滚珠螺杆

清洁润滑各导向滑块

清洁润滑各汽缸

清洁晶圆平台台面

检查各传感器感应位置

各部螺丝旋紧

F、入料装置

检查马达皮带张力

清洁润滑各导向滑块

清洁润滑各汽缸

检查吸取料片位置

清洁传感器

检查各传感器感应位置

各部螺丝旋紧

G、打片机

清洁吸嘴头及入料轨道

检查打片机上下刀具是否完整

清洁润滑各滚珠螺杆

清洁润滑各导向滑块

清洁传感器

检查各传感器感应位置

调整导角与纸卷回收的旋转速度

检视导角捡取及置放位置

清洁润滑打片机模具

检视调整打片机裁切高度

清理废料回收筒

H、料片输出机构

检查Z轴马达皮带张力

清洁润滑各滚珠螺杆

清洁润滑各导向滑块

清洁润滑各汽缸

清洁传感器

检查各传感器感应位置

各部螺丝旋紧

I、加热炉

清洁加热块表面

检查加热块下方底板

清洁上盖

清洁润滑各滚珠螺杆

清洁润滑各导向滑块

清洁各部传感器

检查各传感器感应位置

各部螺丝旋紧

J、芯片自动输入机构

清洁润滑各滚珠螺杆

清洁润滑各导杆

调整皮带张紧度

检查芯片拉出推入槽位位置

清洁传感器

各部螺丝旋紧

第2章、一般维护说明

2-1、7036-PC主要模块

7036-PC介绍如下所述：

Set1包含点胶膜组（DH13A）、弹闸输入模块（MI01A）、弹闸输出模块（MO01A）、料片传送模块（WH15A）

2-2、点胶机

点胶机模块主要由X/Y平台、Z向工作模块，两个部分所组成

项次

项目

注意事项

配合工具

次数

润滑交叉滑轨

关闭马达

微调旋钮调整

关闭马达

清洁传感器

关闭马达

Z轴偏心轮润滑调整

关闭马达

2-2-1、清洁调整X、Y向工作模块

2-2-1-1、交叉滑轨润滑

目的：

为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。

步骤：

1.关闭点胶机模块的马达电源

2.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在交叉滑轨上的废旧油渣去除

3.以润滑油（DUNWELLEP-2）施加于交叉滑轨上加以润滑

4.以手动方式前后左右动滑块，使润滑油均匀分布于滑轨上

5.检查交叉滑轨的滑动顺畅度，无顿点异常

6.若有顿点异常，请调整侧边固定的三个止付螺丝直到摩擦力合乎规范

6.开启点胶机模块的马达电源

2-2-1-2、微调旋钮调整

目的：

为保持X、Y平台精准度

步骤：

1.卸下该轴向的固定钮

2.将微调旋钮逆时针旋转至拖离挡板

3.检查该轴向的压缩弹簧力度是否足够，如其压缩弹簧力度无法确实

承靠挡板时，请更换弹簧

2-2-2、清洁调整Z向工作模块

2-2-2-1、交叉滑轨润滑

目的：

为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以

滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。

步骤：

1.关闭点胶机模块的马达电源

2.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在交叉滑轨上的废旧油渣去除

3.以润滑油（DUNWELLEP-2）施加于交叉滑轨上加以润滑

4.以手动方式上下动滑块，使润滑油均匀分布于滑轨上

5.检查交叉滑轨的滑动顺畅度，无顿点异常

6.若有顿点异常，请调整侧边固定的三个止付螺丝直到摩擦力合乎规范

7.开启点胶机模块的马达电源

2-2-2-2、微调旋钮调整

目的：

为保持Z轴向精准度

步骤：

1.卸下该轴向的固定钮

2.将微调旋钮逆时针旋转至拖离挡板

3.检查该轴向的拉伸弹簧力度是否足够，如其拉伸弹黄力度无法确

实承靠挡板时，请更换弹簧

2-2-2-3、清洁传感器

目的：

使传感器作动正常，回归原点时不会造成偏移误差

步骤：

1.关闭取放头模块的马达电源

2.在不拆除其他部件的状态下进行清洁

3.以真空清洁器吸取清洁或清洁纸（无棉絮的布）沾拭酒精（不可用

具有腐蚀性的化学药品，如IPA）将传感器擦拭干净，无灰尘批覆

4.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损

5.以手动转动马达方式驱动螺杆，来回3~4次测试传感器是否作动正常

6.开启取放头模块的马达电源

2-2-2-4、Z轴偏心轮润滑调整

目的：

保证Z轴高度固定，维持点胶质量

步骤：

1.点击[设定]=>[点胶机]，将点胶机移至上位位置

2.点胶机于上位时调整偏心轮为长边朝上

3.将点胶机移至下位位置，确认偏心轮是否为点边朝上

4.以清洁纸（或无棉絮之洁净的布）擦拭偏心轮，清除废旧油及异物

5.以一般低黏稠度润滑剂润滑一层薄油于偏心轮上

2-3、弹闸式入料机构

入料机构主要由料片承载机构与料片检放机构两大部分所组成

项次

项目

注意事项

配合工具

次数

润滑汽缸

关闭主气压源

清洁反射式传感器

检查清洁料片吸嘴

调整皮带张紧力

关闭电源

滑块润滑

关闭电源

2-3-1、清洁调整料片承载机构

2-3-1-1、清洁调整反射式传感器

目的：

使传感器作动正常

步骤：

1.在不拆除其它部件的状态下进行清洁

2.以清洁纸（无棉絮的布）沾拭酒精（不可用具有腐蚀性的化学药品，如IPA）将传感器擦拭干净，无灰尘批覆

3.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损

4.放上料片测试传感器是否作动正常

2-3-2、清洁调整料片检放机构

2-3-2-1、气缸润滑

目的：

为保持料片取放顺畅

步骤：

1.将主气压源关闭

2.适用清洁纸（或无棉絮之清洁的布）将汽缸上的旧润滑油清除

3.用低黏稠度的润滑油（无腐蚀性）涂抹在汽缸上

4.用手动方式左右移动使润滑油均匀附着在三根导柱上

5.清除在导柱与汽缸相接触残留的润滑油

6.将主气压源开启至规范内

2-3-2-2、清洁反射式传感器

目的：

使传感器作动正常

步骤：

1.在不拆除其它部件的状态下进行清洁

2.以清洁纸（无棉絮的布）沾拭酒精（不可用具有腐蚀性的化学药品，如IPA）将传感器擦拭干净，无灰尘批覆

3.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损

4.放上料片测试传感器是否作动正常

2-3-2-3、检查清洁料片吸嘴

目的：

使料片取放正常

步骤：

1.卸下吸嘴移至显微镜下检查是否完整，若有破损请更换

2.若无破损请以清洁纸（无棉絮的布）沾拭酒精（不可用具有腐蚀性的化学药品，如IPA）将吸嘴擦拭干净，确保气路畅通

3.检查吸嘴固定坐上弹簧弹力是否正常，上下作动是否顺畅

2-3-2-4、调整皮带张紧力

目的：

为保持取放模块转动正常，能精准快速到位

步骤：

1.关闭该模块电源

2.检查皮带齿痕是否完整无破损

3.调整皮带张紧度，用手压缩皮带两侧检查其允许压缩空间范围

为1~2mm

4.用手动方式转动马达，检视带动是否顺畅无顿点

5.开启该模块马达

2-3-2-5、滑块润滑

目的：

为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所

以滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。

步骤：

1.关闭该模块的马达电源

2.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在滑块导块上的废旧油渣去

除

3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑

4.以手动转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一

端来回3~4次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点

5.除去滑块与导块交接处多余的油

6.开启该模块的马达电源

2-4、出料机构

此机构主要由加载区、输出区、升降机三个大部所组成

项次

项目

注意事项

配合工具

次数

滚珠螺杆润滑

关闭马达

滑块润滑

关闭马达

汽缸润滑

关闭主气源

清洁传感器

调整皮带张紧度

2-4-1、清洁载入区与输出区

2-4-1-1、气缸润滑

目的：

为保持汽缸作动正常，并维持到位位置精准。

步骤：

1.将主气压源关闭。

2.使用清洁纸或无棉絮的布，将汽缸上的旧润滑油及焊油清除。

3.用低黏稠度的润滑油（无腐蚀性）涂抹在汽缸上。

4.用手动方式左右移动使润滑油均匀附着在导柱上。

5.清除在导柱与汽缸相接触残留的润滑油。

6.将主气压源开启至规范内。

2-4-1-2、清洁传感器

目的：

使传感器作动正常。

步骤：

1.在不拆除其它部件的状态下进行清洁。

2.以清洁纸（无棉絮的布）沾拭酒精（不可用具有腐蚀性的化学药品，如IPA）将传感器擦拭干净，无灰尘批覆。

3.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损。

4.测试传感器是否作动正常。

2-4-2、清洁料匣升降机

2-4-2-1、滚珠螺杆润滑

目的：

为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，

所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。

步骤：

1.关闭该模块的马达电源。

2.使用清洁纸或无棉絮的布，将残留在螺杆上的废旧油渣去除。

3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑。

4.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回3~4次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点。

5.除去螺杆与螺母交接处多余的油。

6.开启该模块的马达电源。

2-4-2-2、清洁传感器

目的：

使传感器作动正常

步骤：

1.在不拆除其它部件的状态下进行清洁

2.以清洁纸（无棉絮的布）沾拭酒精（不可用具有腐蚀性的化学药品，如IPA）将传感器擦拭干净，无灰尘批覆

3.检查传感器连接处及连接线材是否完整无磨损

4.测试传感器是否作动正常

2-4-2-3、滑块润滑

目的：

为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滑块滚珠需要的润滑油需量较少。

步骤：

1.关闭该模块的马达电源。

2.使用清洁纸或无棉絮的布，将残留在滑块导块上的废旧油渣去除。

3.以NSK-PS2润滑油施加于导块上加以润滑。

4.以手动转动马达方式驱动滑块，使滑块从导块一端移动至另一端来回3~4次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点。

5.除去滑块与导块交接处多余的油。

2-4-2-4、调整皮带张紧度

目的：

为保持Z轴模块转动正常，能精准快速到位。

步骤：

1.关闭该模块电源。

2.检查皮带齿痕是否完整无破损。

3.使用调整螺来调整皮带张紧度，用手压缩皮带两侧检查其允许压缩空间范围为1~2mm。

4.用手动方式转动马达，检视带动是否顺畅无顿点。

5.开启该模块马达。

2-4-2-5、汽缸润滑

目的：

为保持汽缸作动正常，并维持到位位置精准。

步骤：

1.将主气压源关闭。

2.使用清洁纸或无棉絮的布，将汽缸上的旧润滑油及焊油清除。

3.用低黏稠度的润滑油（无腐蚀性）涂抹在汽缸上。

4.用手动方式左右移动使润滑油均匀附着在导柱上。

5.清除在导柱与汽缸相接触残留的润滑油。

6.将主气压源开启至规范内。

2-5、工作平台

工作轨道主要由X向工作模块、承载平台及传送机构三个模块所组成

项次

项目

注意事项

配合工具

次数

滚珠螺杆润滑

关闭马达

调整皮带张紧度

关闭马达

清洁传感器

调整承载平台精度

润滑汽缸

关闭主气源

检查调整缓冲器

检查调整固定舵轮

2-5-1、清洁调整X向工作模块

2-5-1-1、滚珠螺杆润滑

目的：

为保持作动模块高效率与良好性能，因为本身属于滚动接触，所以滚动的滚珠螺杆需要的润滑油需量较少。

步骤：

1.关闭该模块的马达电源

2.使用清洁纸（无棉絮的布），将残留在螺杆上的废旧油渣去除

3.以NSK-PS2润滑油加以螺杆上润滑

4.以手动转动马达方式驱动螺杆，使轴从一端移动至另一端来回3~4次，并确认来回过程中作动滑顺无顿点

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