镀膜机标准作业指导书.docx
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镀膜机标准作业指导书
**公司****标准作业指导书
版本：
1.1
编制人：
*******
审核人：
会签人：
批准人：
1目的：
指导操作人员正确操作设备，防止因操作不当造成的生产异常及安全事故，确保正常运转，保障**站生产正常进行。
2适用范围
工作站。
3修订详情
版本
修订人
详情
审核人
批准人
初
***
撰写
4职责
4.1生产部
4.1.1镀膜站操作员工严格按照本指导书所规定操作步骤进行操作，严禁私自更改操作步骤，出现问题及时上报。
4.1.2镀膜站班长监督当班操作员工作，发现问题及时以书面形式上报，带领当班操作人员做好日常维护工作，在设备正常的情况下保证镀膜生产的正常运行。
4.2技术部
4.2.1及时解决蒸发台生产部门上报的技术问题，并做出详尽明确的书面解决方案，同时负责监督实施。
4.3设备维护部
4.3.1按照《蒸发台设备维护保养表》的要求，定期对蒸发台进行日常维护，及时处理生产部门上报的蒸发台设备异常，并按要求填写相应记录表单。
5参考文件列表
5.1《作业流程》
5.2《操作步骤》
5.3《异常处理》
5.4《蒸发台设备维护保养表》
5.5《蒸发台生产记录表》
5.6《蒸发台物料使用表》
5.7《前工艺环境管理规范》
6文件要求
6.1作业流程
6.2操作步骤
序号
操作步骤
示意图
操作要点和注意事项
1
开门
腔体门打开后，用腔体右上角的挂钩将门固定。
如果有金铍等合金物质在腔体内，务必先等腔体降温到30℃以内再开腔体。
2
取镀盘
操作时要戴乳胶手套，戴口罩，腔体附近操作时严禁说话。
固定镀盘的卡子要放在底部防着板的左下角。
3
清理坩埚
先用手术刀片和改锥等工具将坩埚边缘以及内部的金属剔除，再用吸尘器将剔除的金属吸走，最后用蘸酒精的无尘布擦干净坩埚表面。
4
确认金属源
P电极蒸发要确认坩埚内放有钛源和铝源，N电极蒸发要确认坩埚内放有镍源、锗源和金源。
其他特殊工艺参看工艺流程单要求或实验申请单要求来确认金属源。
5
上片
上片前先将蒸发台腔体门关闭。
将待加工的工件平均放置在三个镀盘上。
严禁用手触碰被加工工件，没有加工物的载片盘上放置陪片，禁止私自刮出镀盘上的金属。
如需清理，必须至少有两个与此工作站相关人员在场。
6
挂镀盘
用提盘把手将放好工件的镀盘装入腔体，用卡子将镀盘固定好，旋转单个镀盘，确认已经卡紧，再旋转镀盘支架，确保行星转能正常运转。
7
检查密封圈
腔体门的密封圈有时会被挤出，关门前检查密封圈是否完好，如果被挤出，用镊子将挤出的部分回复原状，确认没问题后再进行下一步操作。
8
关门
将腔体门关闭，找到抽真空界面，点击抽真空步骤的“START”，设备自动抽真空，此时严禁拉动开门把手。
9
开EB-Gun
开高压电子枪之前要确认前道步骤已经完成，关门之前严禁开高压电子枪。
10
调用程序
根据工艺的不同，调用相应的镀膜程序。
11
观察记录数据
将蒸发过程中的信息详细记录在蒸镀生产记录表上。
12
开门取镀盘
图略，参考第“1”“2”步骤图片
与第“1”“2”步操作相同。
13
摘片
按照投片顺序，依次取出加工完成的工件。
14
送至下道
详细记录相关数据后，将加工完成的工件送至下道操作工序。
交接必须有双方交接人员签字
6.3异常处理
6.4相关规定
参考《前工艺环境管理规范》
附页：
1，物料规格清单；
2，物料使用记录单；
3，蒸镀生产记录表；
4，蒸发台设备维护保养表。
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