PEVCD操作手册.docx
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PEVCD操作手册
SINA系统操作手册
氮化硅沉积系统操作手册
1绪论
1.1申请和使用
1.2软件和硬件辨认
1.2.1硬件
1.2.2软件
1.3主要器件安装说明
2操作指令
2.1无线按钮
2.2按钮
2.3列表
2.4检验器
2.5输入和输出框
2.6工具栏
3控制系统转化开关
3.1开
3.2关
4功能描述和操作
4.1标题
4.2信息栏
4.3动态菜单
4.4静态菜单
4.5图象区
5标准功能
5.1系统
5.2工作腔体
5.3气体系统
5.4参数
5.4.1系统参数
5.4.1工作参数
5.4.1气体参数
5.5程序
5.6统计
5.7协议
5.8上升测试
5.9腔盖控制
5.10控制
5.11汞
5.12输送手册
6服务
6.1测定点
6.11主要分布
6.12机器接点A2
6.13机器接点A3
6.1.4等离子源
6.1.5传输系统
6.1.6气体系统
6.2登陆和下线
6.3用户管理
6.4维修（对质量管理人员）
7信息表
8问题解决方案
1绪论
1.1说明和使用
‘SINALsystem’是一个表面沉积系统，包括5个连续的腔体。
下表清晰地写出了它的功能：
1全程图象可视化操作
2即时数据图象描述
3电子化记录数据
4如下模式操作：
工作模式是程序自动操作，在线参数设置
服务模式是系统启动，问题扫描和利用机器参数控制
1.2硬件和软件
1.2.1硬件
在PC机（celeron2.66G，256M内存，80G硬盘，3.5FD，LGDVDCDROM，Aopen图形卡，网卡，windows2000）包括15寸显示器和19寸键盘。
控制软件可以进入3台型号是ET200M的控制器，这些都集成在电脑上。
他门可以延伸到对应的I-O借口并被记录下来。
几台设备如加热器，阀门，大流量数据控制器和电动机等被直接连接到总线。
这样每个设备的大量数据可以很快连接起来。
等离子源通过CAN总线控制。
Profi总线的地址分布
模块和节点
Profi总线的地址
PC
1
动力节点分布
3
机器节点A2
4
机器节点A3
5
频率转化器2408（工作腔体）
12
加热器2400（装载锁定）
14
加热器2400（加热腔体）
15
加热器2400（工作腔体）
16
Valve1+2
18+19
MFC
21-23
发动机1（装载腔体）
41
发动机2（加热腔体）
42
发动机3（工作腔体）
43
发动机4（工作腔体）
44
发动机5（冷却腔体）
45
发动机6（冷却腔体）
46
发动机7（卸载腔体）
47
发动机11（卸载台）
51
发动机24（装载台）
64
预处理源
66
接点CAN总线分布
模块/接点
Messageid
Messagereturnid
微波1
11
91
微波2
12
92
微波3
13
93
微波4
14
94
微波5
15
95
微波6
16
96
微波7
17
97
微波8
18
98
1.2.2软件
Window2000带服务包4安装在系统上。
VAC可视化3.0版本
所有数据，过程和输入都可视化。
菜单可用键盘和触摸式控制。
功能操作手册
操作参数自动化
数据库控制和管理
注册信息控制
协议在线记录
自我检测功能
1.3组件的安装说明
安装SIMATIC外围组件参考系统手册。
对于SINEC-L2连接遵循技术指导。
2操作说明
系统可以用键盘和鼠标控制。
用户界面采用标准的window输入方式，具体参考window手册。
2.1无线按钮
无线按钮一般都在一个组出现。
他门像多重选择测试。
任何时候一个按钮总是激活的。
点击鼠标左键启动无线按钮
重复点击TAB直到无线按钮突出。
2.2按钮
按钮是操作元素，两种方法启动：
用左键点击。
重复点TAB按钮直到它明显，然后点space来激活。
2.3列表
表格是用来展示大量数据的，在很多菜单里都有。
下面每一项显示可用的选项。
点下表格它就打开了。
当前的位置明显的，用鼠标选择好就可以关掉它。
或者重复点TAB按钮直到它明显，然后点ALT+UP或者ALT+DOWN来打开表格。
利用箭头按钮来做选择。
点ENTER确定并返回。
2.4检验盒
检验盒就像一个开关。
一个选好的检验盒可以打沟，反之不能。
简单地点下鼠标左键可以启动检验盒。
重复点TAB直到检验盒明显。
然后点space来启动。
2.5输入和输出框
框架是一个长方型的窗口用来输入或输出文本和数据。
输入框是白底而输出框是彩色的，他门有不同的功能。
注释文本
按住SHIFT并移动指针，其移动过的地方就变亮了。
或者
点鼠标左键并移动过文本
或者
鼠标左键双击全选
删除文件
点击框，按del把文件弄到右边，或者点？
把文件弄到左边
当文件被选中，输入新文件把原来的覆盖掉。
或者点del去除，点enter确定。
注意：
以下情况输入后就有效了
1输入后回车
2指针选择另外一个事件。
3对象不再被点亮
2.6工具条
当鼠标在对象超过2秒，一个工具条包含一些短信息就会出现。
3系统开关
3.1开
开关一启动，操作和控制电脑就运行了。
在磁盘保护后面有个电源按钮可以打开电脑。
Window2000注册版启动了，输入用户名不需要密码。
现在控制软件启动了。
当启动程序一结束，系统信息就会在屏幕下方出现。
在显眼的地方出现要求输入用户名和密码。
3.2关
在服务菜单里有关闭按钮。
点击就出现以下信息。
当这个过程结束，那么电脑可以关闭或者重新启动。
如果电脑仍在运行，你可以关掉电源。
4功能描述和操作
可以像在windows里一样地操作。
用户界面的操作元素都一样。
4.1标题
标题总是可见的并显示时间，日期和系统用户。
左角显示压力和冷却水的状态。
如果手型标志显示在题头，系统将在服务模式下工作，。
手型标志代表运输函数激活了。
旋转喷头的颜色代表了系统的状态。
红色代表错误信息，黄色代表警告，绿色代表激活。
如果一个警告错误发生了，那么信息栏提示错误信息。
4.2信息栏
信息栏在图象区域下方。
“Q”在信息栏最后给出一个工具条，至少一个信息被利用，这不是必须的信息。
利用功能键F8（个人）或者F9（集体）可确认信息。
要显示所有信息按F7或者双击信息栏。
也可以用以下方法关闭它。
点F7
点alt+f4
点右上角标志
点关闭按钮
双击信息表。
4.3动态菜单
它用来显示菜单和次级菜单的。
动力学菜单的结构依靠选择的函数。
菜单右侧可插如标准函数和次级菜单。
静力学菜单
它显示在屏幕右下角，显示同样的选项。
图象区可在系统面板和服务面板转化。
在当前模式和授权用户下可进入以下功能。
系统
显示系统面板
工作腔体
显示详细的图片并启动特定程序。
气体系统
显示详细的气体供应信息并启动清洗程序
服务
服务类菜单包含以下信息：
系统诊断，开关标记，系统关闭等
停止
停止按钮表示全部技术和动力系统停止
4.5图象区
这个区域是用来显示不同的系统图象包括服务图象，信息表，管理和所有的输入和腔体技术。
详细的信息如下：
显示元素
系统的状态用不同的颜色来显示。
包括符号和阀门都是
阀门和泵
绿色：
打开或者激活
灰白色：
关闭或者不活跃
黄色：
开关转换
红色：
错误
空气和水
白色：
停止
浅蓝：
激活
黄色：
转换间隙
红色：
错误
按钮：
黑灰色：
功能激活
浅灰色：
功能未激活
LED
黑绿色：
未激活
浅灰色：
激活
黑红色：
无错误
浅红色：
相应单位错误
黄色：
开关间隙
框架：
白色：
输入设定值
浅绿色：
显示实际值
深绿色：
显示设定值
5典型功能
5.1系统
当软件启动后系统就显示出来。
同样可以通过点静态菜单按钮打开。
系统提供了一个操作记时器。
泵的操作时间：
用右键点击其标志
系统的操作时间：
用右键点击背景
重新设置操作可把记数器消除
动态菜单
参数
展示全部机器参数
统计
过程参数的在线分析
数据标定
产生和去除协议
上生比例测试
执行一个泄露测试和趋势显示
盖控制
打开或者关闭腔体
控制
打开一个程序菜单
泵
所有腔体的泵都可以开关
输送手册
打开或者关闭腔体之间的阀门，载荷可以被逐步传输。
腔体工作函数
名字：
显示实际的运行函数
状态
运行程序的信息状态。
图表显示加热时间。
装荷腔体，工作腔体和卸载腔体的状态
有3种不同的腔体状态：
泵，运输器和上升比列测试。
右键点3种状态选择其一。
温度℃
3个加热器的温度显示。
图表显示控制加热的百分数。
腔体真空测试
每个TPR都显示装载腔体和卸载腔体的压力（HV-高真空。
ATM-大气）
PKR腔体真空测试
PKR显示了工作腔体的压力，依据气体类型和可能对其影响的等离子体。
当气体通过通道1-3进入腔体时，腔体PKR就关闭了。
Baratron
显示了从10-
mbar10范围内的腔体压力。
这个量表更准确而且独立测试。
如果压力超出范围，则无显示。
停止/持续（在装载板和卸载板以下）
当载荷从装载腔体进入工作腔体时，停止按钮就出现了，同时2号门关闭。
点按钮后传输过程结束。
腔体里的载荷被送出系统。
之后出现了继续按钮。
点其按钮，未完成的过程继续并且新的载体进入装载腔体。
当系统提示传输失败，很快有个信号：
继续还是取消？
速度[英寸/分]
实际的发动机速度能显示出来并可通过点其符号控制。
载荷
进入工作腔体的载荷被计算出来。
如果载荷达到传感器11（在冷却腔体3号门前）的位置，又加入一个载荷。
载荷小的被统计出来并可消除。
5.2工作腔体
点静态菜单的过程按钮得到。
下面详细介绍图10
该面板提供了工作泵，微波源和气体等操作时间计算器。
泵：
右键点符号
微波：
右键点微波状态线
频率产生器：
右键点RF源
气体：
右键点气体流量
点RESET消除计算器
动态菜单
程序
可以产生或者修改程序
参数
设置工作腔体的参数
泵
工作腔体的泵可以开关
控制
启动程序或输送的菜单
程序
名字
实际运行程序
状态
运行程序的状态
真空测量
PKR表显示了工作腔体的压力，它和气体类型、等离子影响有关。
当气体通过1-3通道进入腔体时，PKR关闭
输送
状态线
显示实际的输送信息
速度
显示加热腔体，工作腔体和冷却腔体的2-6号电机的实际输送情况。
工作腔体的速度值必须输入程序
气体系统
图1-3显示了实际的气体通道1-3的值。
加热器
时间[秒]：
显示实际的加热时间，百分数表示
温度[℃]：
3个加热器的实际温度，图表显示。
状态[%]：
显示3个加热器的当前状态
压力控制：
工作腔体的压力可以被一个频率转化器调节。
它可以控制泵的速度。
控制模式：
关：
压力控制关闭，泵在100%运行。
Pos：
泵在设定值下工作。
0%=10HZ，100%=60HZ
Pres：
频率转换器按照设定的速度控制泵
泵
显示了工作腔体的阀门和泵的信息
注意：
机器运行时，用户有在线参数修改的权利，单元的设定值可以改变。
右键点文本框，激活在线参数设置，现在可以输入了。
5.3气体系统
点气体系统按钮看到其概况。
显示了所有连接的气体的通道、流量、压力等和工作腔体的操作功能。
动态菜单。
参数：
可设置所有的气体系统参数。
净化：
如果泵没打开，当净化系统打开时他门自动打开。
除非工作腔体关闭，净化过程是不会启动的。
不管净化是否进行，腔体阀门x50/51总是打开的。
气体通道列表：
气体通道1-3列表，都可被净化。
净化前先选好气体通道。
气瓶：
选好的气体通道连接到气瓶，净化顺序是这样的：
安全要求：
所有的气瓶都密封了？
——取消所有的净化过程。
——气体瓶都密封好了就执行
腔体阀x50/51，气体进入阀x10和侧阀x40都打开。
当阀门打开后，腔体就关闭了。
泵的工作时间取决于气体参数。
只有当压力泵达到一定压力才能开始下一步。
提示：
打开净化
瓶
——取消净化过程
⏹除非
被打开了，否则不要执行
⏹净化（时间由气体参数决定）
关闭净化
瓶。
——取消净化过程
⏹除非
被关闭了
泵（时间由气体参数决定）
阀x50/51关闭
——取消净化过程
——净化空气阀x20打开一秒
全部气体阀门关闭，净化结束
气体通道：
选好气体通道连接到进口x10，接下来净化过程如下：
1达到一定压力后腔体阀门和MFC打开。
2当气体流量〈1%的MFC范围时才开始下一步
3净化气体阀门x20打开。
在20秒后，关闭
4如果气体小于1%的MFC范围，循环关闭
5如果循环数目不够开始新的循环。
6腔体阀门关闭
提示：
用
净化
取消：
停止
ok：
阀门带开1秒
所有气体阀门关闭净化结束
停止
所有净化过程失败，关闭所有阀门。
注意：
气体进入腔体前要在程序里设置好独立的通道。
参数会由程序传递到系统，之后通道打开，现在气体流量由MFC调节。
净化：
显示实际的净化过程
MFC1-3：
显示气体流量的设定值
工作腔体的真空测定：
PKR表显示了工作腔体的压力，这和气体种类，等离子源的影响有关。
当气体由通道1-3进入腔体，PKR就关闭
BARATRON测量
显示了工作腔体在10-
mbar范围内的压力。
这个表更准确而且具有独立性。
如果压力超出范围，那么不显示。
注意：
如果程序在运行，用户有在线改参数的权利，那么气体流量可改变。
5.4参数
机器参数分为3组，分别是系统，工作腔体和气体系统。
不同的参数可以选择。
选好参数组后数值可以用文本框修改。
参数都有相同的操作部件。
动态菜单
保存：
保存在excell里
打印：
返回
5.4.1系统参数
在系统面板上点参数按钮就看到了
中断：
compressedair[min：
sec]
压缩空气最多中断时间，超出范围显示：
compressedairfault
water[min：
sec]
冷却水最多中断时间，超出范围显示：
waterfailure。
当加热监视器和微波源关闭时。
见下表
水量监视器
1+2
3-6
7-12
13
14
15
16
装载腔体的加热器
x
x
工作腔体的加热器
x
x
x
x
x
x
预处理源
x
微波源1
x
微波源2
x
微波源3
x
微波源4
Purge
氮最多中断时间，超出范围显示：
氮压力低。
机器同时停止
exhaust
废气清楚最多中断时间，超出范围显示：
排气失败。
机器同时停止
排空
当装载腔体完全排空（在900mbar压力下），当额外时间超过，水阀关闭。
gattimes
opentime
入口打开所需要的最大时间。
超出这个时间，单元进入错误状态显示：
errorgate
closingtime
入口关闭所需要的最大时间。
超出这个时间，单元进入错误状态显示：
errorgate
transport
工作腔体的传输速度在程序里设置好
transportspeedLC[cm/min]
这个值表示装载台到载荷腔体再到加热腔体。
transportspeedULC[cm/min]
这个值表示冷却腔体到卸载腔体到卸载台。
acceleration
这个参数用来设置装载腔体的内外系统的传输带加速度，是固定值，防止载荷太靠近2号入口
gratratio[rot/cm]
在发动机轴和传送带之间的传输齿轮比。
注意：
如果载荷被锁住，当被传感器发现时，发动机将立刻停止以避免太靠近入口。
直到入口开启再重新启动。
Pumps（装载和卸载）
Switch-onpressure
在主泵开启前压力必须通过旋转泵传到腔体
Switch-offpressure
当实际压力超出，主泵停止
start-upprriod
主泵提速的最大时间。
如果时间超过，泵关闭，显示以下信息：
errorrootspump。
这个取决于泵的吸力和腔体的体积和性能
start-downprriod
主泵降速的最大时间。
如果时间超过，泵关闭，显示以下信息：
errorrootspump。
Serviceinteraldry/root[hh：
min]
当操作时间超过工作间隔。
必须休息一下同时出现提示。
之后，泵的操作时间要归零。
Unitpressure
选择单元压力，蓝色底框。
压力显示在软件上
handlingpressure
在输送载荷到达或者出工作腔体前，装载腔体和卸载腔体会关闭直到压力达到这个值。
Pumpdowntime
在此间腔体关闭，之后排空。
Needlevalvetime
在针阀和顶阀之间的缓冲器在这段时间里打开。
Peakvalvetime
顶阀打开读取压力。
加热器1
加热器2和3参数都在工作腔体参数里
maxphasedifference[%]
加热状态P1和P2和P3之间的最大的区别
thresholdcontrolvalue[%]
如果加热器超过这个值，状态控制启动
timeoutphases[s]
状态最大区别不允许超过一定时间。
否则出现以下信息：
超出范围。
maxtemperature℃
加热器的温度调节在技术设置里。
如果温度超过，加热器停止。
一旦温度下降10℃重新启动。
Standby–temperature
如果没载体在装载腔体并且缓冲器关闭，程序改为这个温度。
Alarmlimit℃
温度不会偏离正常的设定值
limittimetoalarm
温度允许超过警报参数的最大时间，否则出现以下信息：
温度超出范围
protocol
只有当区域激活才能建立一个协议。
5.4.2工作参数
在工作腔体面板点参数按钮就可以了。
加热器2、3参数
maxphasedifference
最大允许的加热状态P1和P2和P3之间的区别
thresholdcontrolvalue
如果加热器超过这个值，状态控制启动
timeoutphases
状态最大区别不允许超过一定时间。
否则出现以下信息：
maxtemperature
加热器的温度调节在技术设置里。
如果温度超过，加热器停止。
一旦温度下降10℃重新启动。
Standby–temperature
如果没载体在装载腔体并且缓冲器关闭，程序改为这个温度。
。
Alarmlimit
当程序在运行温度不会偏离的设定值。
如果没程序运行，这个温度就是设定值
imittimetoalarm
温度允许超过警报参数的最大时间，否则出现以下信息:
swich-onstandbypressure
如果压力达到并且泵开启，那么加热器2和3会转到standbymode
rootspump
swich-onpressure
在工作腔体在旋转泵作用下达到这个压力时主泵启动
switchonpressure
工作腔体压力超过该值，主泵关闭
start-upprriod
主泵提速的最大时间。
如果时间超过，泵关闭，显示以下信息：
errorrootspump。
这个取决于泵和腔体的性能
start-downprriod
主泵降速的最大时间。
如果时间超过，泵关闭，显示以下信息：
errorrootspump。
Additonalpurgingtime
净化泵。
这个参数对3个泵单元都有效。
ventgingpressure
排气一定要达到这个压力。
目的是去除腔体的气体。
additionalventingtime
当这个时间过去，工作腔体就完全排尽并且阀门关闭
sorcesparameter
maxmw-power1-4[w]
微波的最大值
maxgenetatorpower[w]
微波发生器的最大可调节功率
maxpeakpower[w]
显示最大的微波源的功率值
warm–uptime
微波在稳定模式下最大功率的输出时间和加热时间。
Intervalplasmasources[hh：
min]
当操作时间超过间隙时间，一个对话框提示。
之后操作时间计算器就要归0。
MaxRF-genetatorpower[w]
可调节的最大的RF发生器功率
RF开始功率
其开始功率要低于发生器的程序设定值。
发生器利用这个参数启动。
standby–time-
[min：
sec]
在运输停止和备用模式下间的时间。
maxprocessvelocity
在程序里设置好最大的载荷速度
5.4.3气体参数
点按钮可看到设置面板
gases1-3
可在单独通道使用。
在文本框看到气体类型，其在程序，工作图象区和工作腔体里可以设置。
Purge
Cycles
有多种循环净化系统，包括泵和净化装置。
timepurging
这段时间气钢被净化
timepumping
timepumnping
这段时间气钢处于净化过程。
endpressurepump
净化过程中，气体通道达到这个压力。
MFC
MFC连接的气体通道的正常范围内。
Alarmlimits[%]
气体流量可改变的最大限度。
超过这个范围，单元进入错误状态，显示相关信息
correctionfactor
显示气体修正系数，如果未设置的气体进入，那么它将决定气体流量。
5.5程序
点相关按钮出现程序窗口
动态菜单
save保存
delete删除
print打印
recipe程序
back返回
菜单包括如下：
设置，修改和管理不同过程程序。
新的程序通过覆盖原程序保存，而不是重新输入
设置新程序：
-输入新名字和参数
-点save
删除一个程序：
-选好一个程序
-点delete
-点yes
程序
name：
在列表里选好
notice：
关于选好的程序，添入你的注释
gasflow：
包括相应的气体通道，流量控制在检验盒右侧。
MFC1-3显示在运行过程中的气体流量。
Gasinlet
气体控制器打开，气体进入腔体。
压力
contralmodel：
选择模式频率转换器开始工作
off：
按钮解除压力调教，主发动机以60Hz的运行
position：
主发动机按设置速度运行，速度转化为百分值
pressure：
频率转换器把速度提到设定值
position[%]
显示了工作腔体的泵的目标速度，当其控制模式激活才能出现对话筐。
depositionpressure
显示了工作腔
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