制绒工序作业指导书.docx

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制绒工序作业指导书

保密

级别

C

文件

种类

作业指导书

文件

编号

LW－PT3－012－A0

编制

部门

工艺技术部

编制/日期

修订/日期

审核/日期

批准/日期

RENA制绒工序作业指导书

1目的

指导电池车间制绒工序人员的正常生产操作。

2适用范围

100MW电池车间制绒工序工作人员。

3定义

无

4职责权限

4.1生产员工：

若无工艺工程师许可严禁擅自对任何工艺参数进行修改与调整。

4.2操作员

4.2.1在工艺工程师授权的情况下才能对工艺参数进行调整。

在未经工艺工程师授权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。

4.2.2协助班组长对自己所操作机器的工艺参数进行监控，当发现工艺参数发生变化时应及时通知班组长，由班组长通知工艺工程师。

4.3班组长

4.3.1班组长应该严格要求本组员工按工艺要求进行生产，对其操作进行监督，杜绝违反工艺规定现象出现。

4.3.2当工艺工程师不在现场，且制绒后硅片的腐蚀深度、表面状况出现异常的时对腐蚀温度、带速、风刀频率、溶液浓度、溶液配比在一定范围内进行微调。

当微调无效时，班组长应该通知工艺工程师进行调整。

4.3.3当硅片出现异常，班组长应立即通知工艺人员。

班组长在未得到工艺工程师的授权时，不得对制绒的工艺参数以及清洗机的清洗工艺进行任何调整。

4.3.4班组长应该配合工艺人员严格按照实验要求完成各项实验。

4.3.5协助工艺人员对超净间的各种工艺进行监控，监督工艺质量，当发现工艺被修改时应及时通知工艺人员，由工艺人员进行确认处理。

4.4工艺工程师：

4.4.1保持超净车间的工艺稳定，保证超净车间生产的连续，当工艺出现重大波动且影响到生产质量时，应该及时采取相应的解决措施。

4.4.1.1工艺工程师应该指导生产人员进行生产，保证生产的顺利进行；

4.4.1.2当工艺工程师对工艺进行优化时，应事先与主管工程师讨论确认方案的可行性，然后请求生产部协助，按计划进行实验。

4.4.1.3工艺人员的实验在没有成熟时不得进行大批量生产。

4.4.2在进行各种实验时，为生产人员设定好各种工艺参数；

4.4.3巡视超净车间各工艺情况，当发现工艺参数发生变化时，调查其原因然后进行相应处理；

4.4.4保证超净间各个工艺在规定的工艺参数下进行，对设备的各工艺参数进行定期复查，完成SPC相关工作；

4.4.5配合其他车间工艺人员完成各项实验和质量控制。

5工作流程

无

6正文

6.1附属设施技术要求

6.1.1环境温度：

0℃～40℃

6.1.2相对湿度：

＜85%、无凝露

6.1.3周围环境：

无腐蚀性气体

6.2RENA制绒结构特征

Station1:

腐蚀槽Station5：

HF/HCL润洗

Station2：

冲洗1槽Station6:

冲洗3槽

Station3：

KOH润洗Station7:

气刀风干

Station4：

冲洗2槽

RENAInlineTextureEtching包括上料→HNO3及HF腐蚀→冲洗1→KOH润洗→冲洗2→HF/HCl润洗→冲洗3→气刀风干→下料。

6.3设备的操作

6.3.1操作准备

确认设备能正常运行,压缩空气、DI水等压力及流量正常。

戴口罩，操作时戴洁净手套，并保持室内正压，严禁随便开启门窗,以保持室内的洁净度。

6.3.2信号灯及其状态

灯

声音

状态信息

无

无声音

机器处于关闭模式或SERVICE（服务）状态

绿（连续）

无声音

1、机器处于自动模式。

2、机器准备并在工艺运行中

绿（闪烁）

无声音

1、机器处于自动模式。

2、机器准备执行工艺

黄（连续）

蜂鸣响

指令错误，未解决

黄（闪烁）

无声音

机器处于手动模式

红（连续）

无声音

当前有机器错误或异常中断错误并已承认

红（连续）

蜂鸣响

新的机器错误或异常中断错误，并未解决

蓝（连续）

无声音

机器处于待命，并等待新的硅片

6.3.3设备的操作模式

6.3.3.1操作模式关闭：

关闭所有输出信号。

例如设备停止时，选择这种操作模式。

状态显示的背景颜色是蓝色。

模块关闭，所有输出信号关闭。

6.3.3.2手动模式：

单独控制每一模块的状态。

状态显示的背景颜色是黄色。

模块处于手动模式。

6.3.3.3服务模式：

主要用于维护。

当选择该模式，关闭所有输出信号。

可以在屏幕的“输出”内手动关闭独立部件。

没有安全互锁。

状态显示的背景颜色是红色。

模块处于服务模式。

6.3.3.4自动模式：

当所有部分处于准备时并且不是工艺中即不忙时，选择该模式后，设备可以自动进行操作。

状态显示的背景颜色是绿色。

模块处于自动操作模式。

6.3.4设备主界面

6.3.5信息栏

显示当前时间、日期；显示设备模式（手动或自动模式），与PLC的通讯状况：

正常（OK），登录名称：

Service（服务）、Operator（操作者）等。

6.3.6报警诊断栏

显示当前出现的报警的相关信息：

日期、

时间：

出现报警的时间；

功能部件：

出现报警的部件；

功能：

出现报警的部件的执行功能；

错误信息：

出现的报警信息，相关错误解释可查阅操作手册；

状态：

报警的状态。

未解决、已承认等。

6.3.7按钮信息栏

A软件登录。

B软件版本信息。

C用户管理。

D关闭操作模式，所有输出信号将被关闭（断电关机时使用）。

E将机器切换到手动模式，所有部件操作将切换到手动模式。

F将机器切换到服务操作模式，非设备维护人员禁止点击。

G将机器切换到自动操作模式。

H切换主界面。

I进入Service界面，将会显示各种输入、输出信号状态。

J单独手动控制每个部件。

K进入工艺方案子界面。

L进入曲线子界面。

M进入错误诊断子界面。

N消除报警声。

O消除错误

P传送带状态

Conveyor1:

传送Input上料部分。

Conveyor2:

传送Input上料部分，Etchbath,Rinse1bath,Alkalinebath。

Conveyor3:

传送Input上料部分，Rinse2bath,Acidicbath,Rinse3bath,

Dry2,Output下料部分。

Offsetadjustments:

偏差调节。

ConveyorSpeed[m/min]:

传送速度调节。

TemperatureEtchbath[℃]:

刻蚀槽温度调节。

Q计数器、前玻璃门

Resetinput:

投入硅片数量复位。

Waferchargeinput:

实际投入硅片数量。

Resetoutput:

输出硅片数量复位。

Waferchargeoutput:

实际输出硅片数量。

Temperatureetchbath:

腐蚀槽温度。

R各个槽的状态及相关信息

Manual:

操作模式为手动模式

NotReady:

该部件未准备好

Ready:

该槽已做好准备，等待工艺运行

FillingDI:

该槽正在添加纯水。

FullDI:

该槽内已添满纯水

FillingChem:

该槽正在添加化学药品。

FullChemical:

该槽已充满化学药品。

Empty:

该槽没有化学药品或纯水。

InProcess:

表示该槽工艺正在运行中。

Draining:

该槽正在排放化学药品或纯水。

Error:

该槽出现错误。

Standby:

待命。

等待硅片的投入。

Tempout:

腐蚀槽出路温度。

Flow:

该槽化学药品的流速。

Bathquality:

腐蚀槽内规定腐蚀重量的当前剩余值。

BathLifetime:

该槽使用寿命。

Airknife:

风刀工作频率。

Enteranote:

输入一个提示信息。

Lockpane：

琐闭拉窗。

RecipeinUse:

当前使用的工艺。

Start:

自动模式下，开始工艺运行。

Stop:

自动模式下，停止工艺运行，所有传输、马达停止。

TestLams:

测试报警声音是否正常剩余值。

6.4关于操作

6.4.1标准开机

打开配电柜电源开关，打开镶在配电柜外面的控制机器照明灯的按钮。

按下操作面板上的On按钮，将显示器的开关打开。

所有紧急制动如无紧急情况，不得按下。

如按下紧急制动按钮，机器的所有动作将会停止。

6.4.2登陆操作

点击按钮，将弹出用户登陆对话框。

操作者输入用户名（UserName）：

operator，密码（Passward）：

operator，点击确定按钮。

Loginname处将显示operator用户。

6.4.3填充药液/纯水：

点击按钮，将机器操作模式切换到手动模式。

逐一给每一个槽添加化学药品或纯水。

EtchBath（腐蚀槽）：

点击添加药液（FillChem）按钮，待该槽状态显示FullChem并且Ready时，点击开始运转按钮（StartMainfunction），该槽的状态

显示工艺运行中（InProcess）。

Alkaine（碱槽）：

点击添加药液（FillChem）按钮，待该槽状态显示为FullChem并且Ready时，点击开始循环（StartCirculation）按钮，待循环泵运转后，点击开始腐蚀（StartEtching）按钮，该槽的状态显示工艺运行中（InProcess）。

Acidic（酸槽）：

点击添加药液（FillChem）按钮，待该槽状态显示为FullChem并且Ready时，点击开始循环（StartCirculation）按钮，待循环泵运转后，点击开始腐蚀（StartEtching）按钮，该槽的状态显示工艺运行中（InProcess）。

Rinse（冲洗槽）：

点击添加纯水（FillDI）按钮,待该槽状态显示为FullDI并且Ready时,点击开始腐蚀（StartEtching）按钮，该槽的状态显示工艺运行中（InProcess）。

完成以上所有槽的准备工作后，将机器的操作模式切换到自动模式，点击开始按钮，机器开始自动运行。

注意：

自动模式运行前，必须确定传输是停止的，并且风刀的状态是关闭的才能在自动模式下start，运行工艺。

6.4.4乙二醇的更换步骤

A、点击界面上Coolingunit单元排放draining按钮；

B、待冷却器内液体全部排空后，从冷却器设备顶部加注20L乙二醇；

C、乙二醇加注完成后，在主界面Coolingunit单元点击GlycolchangeOK；

D、点击Filling按钮加注Citywater；

E、加液完成后，冷却柜还需排气。

步骤为：

冷却柜上的操作面板set→selectprogram→111→1（on）.排气后水位如降低则到主界面加注Citywater.完成后还需将排气步骤关闭，set→selectprogram→11→0（off）。

排气步骤反复两次。

6.4.5自动分析仪电极的更换和校准操作

6.4.5.1在主界面下，单击“workplace”菜单，选择“offline”模式；

6.4.5.2在“Run”窗口下的“Method”命令中选择“calibrationpHelectrode”；

6.4.5.3拧下电极并用DI水冲洗后，再用无尘布擦干；

6.4.5.4检查电极内部氯化钾溶液的最低液位是否没过电极头部（若液位低于电极头部需添加氯化钾溶液）；

6.4.5.5将电极放入加好储存液的存储管里，储存；

6.4.5.6取出新电极，打开上部的橡皮塞加入氯化钾溶液（使液位达到管长的80%处，即橡胶头的下缘）；

6.4.5.7拧好电极并进行电极的校准操作。

注意：

A、电极的头部十分敏感，勿擦拭。

B、储存电极时要保证其上部的橡胶头关闭，校准时必须打开。

C、操作时一定要戴好必要的防护手套和口罩。

D更换化学药品时的安全操作规范

6.4.6更换Metrohm用化学药品

Metrohm用化学药品包括NaOH（1.000mol/L）和HCL（1.000mol/L）。

供给管

通风管

药液密封盖

补给箱

6.4.6.1检查药液箱是否空了；

6.4.6.2拧开药液密封盖并取出吸液管，移开供给管；

6.4.6.3将满的补给箱换上，并将药液密封盖旋紧（或将化学药品经过漏斗倒入原药液补给箱内）；

6.4.6.4将空药液箱冲洗干净后将其螺旋密封盖旋紧；

6.4.6.5用干净的毛巾将酸碱液残留物吸干，将毛巾用清水处理干净。

注意：

保持HCL和NaOH药液箱的密封盖紧闭！

在更换容器内的药液时，必须穿戴好防护服、防酸碱手套和护目镜。

6.4.7更换化学药品室的化学药品

更换化学药品前须先确认化学品的类型和厂家，现使用的为晶瑞和润玛两个厂家的产品，两个厂家的药液桶深度不一样，为了不浪费药液，所以我们使用的打液管长度也不一样，更换不同药液的同时应更换相应的打液管（润玛使用短管，晶瑞使用长管）。

化学药品室内化学药品包括HNO3（65%）、KOH（50%）、HF（40%）和HCL（37%）。

供给管

通风管

药业密封盖

补给箱

6.4.7.1打开药液柜的门。

6.4.7.2在供给管关闭的情况下，确定此药液箱是否无药液。

6.4.7.3旋开药液箱上的密码环，并且移开吸管。

6.4.7.4将吸管放到药液柜边准备好的吸管架里面。

6.4.7.5用叉车将药液罐（200L或1000L）取出药品室并将满的药品罐更换进来。

6.4.7.6旋开满的药液罐的盖子并且将吸管插入。

6.4.7.7将密码环上的螺旋连接拧紧，将药品室的门关闭。

6.4.7.8拧紧空药液箱上的密封盖。

6.4.7.9用干净的毛巾吸收可能会出现的化学药液的残留物，将毛巾用清水洗净。

注意：

保持化学药液罐的密封盖紧闭！

在更换药液时，必须穿戴好防护服、防酸碱手套和护目镜。

7相关文件

无

8相关记录

无